真空系統集成

氟油平臺
◆ HF-10氟油/氦氣加壓平臺是專門針對和半導體器件、集成電路、電子產◆ 品等電子元器件進行粗、細檢的一套檢漏裝置。
與氟油加熱儀配合使用,可以進行電子元器件的粗檢過程。
◆ 與氦質譜檢漏儀配合使用,可以進行電子元器件的整個細檢過程。

性能指標

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